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維薩拉 PR-23-MS K?PATENTS? 半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀

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品牌名稱
維薩拉
廠家區(qū)域
廣東廣州市
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產(chǎn)品詳情

適用于半導(dǎo)體液態(tài)化學(xué)品測量

該折光儀外形緊湊,流通池采用改良超純 PTFE 而成,適用于半導(dǎo)體液態(tài)化學(xué)品測量。可通過 ? 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或擴(kuò)口 Flare 連接。

維薩拉 K-PATENTS? 半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-23-MS 內(nèi)置的流通池由改良超純 PTFE 制成,旨在防止任何金屬和易腐蝕部件與工藝過程中的液體接觸。與液體接觸的所有部件均為改良超純 PTFE 和藍(lán)寶石棱鏡。

PR-23-MS 直接通過柱形或喇叭形配件串接進(jìn)行安裝。緊緊湊型設(shè)計(jì)方便集成到機(jī)臺或機(jī)柜里,而無需占用過多有限空間。

該折光儀通過光學(xué)原理測量溶液折射率來獲得溶液濃度。正是憑借這一原理,同一臺儀器可用于各種溶液測量。

PR-23-MS 可提供連續(xù)的 4-20 mA 或數(shù)字測量信號,并在化學(xué)物質(zhì)的濃度超出規(guī)定的范圍時(shí)向控制系統(tǒng)提供即時(shí)反饋。PR-23-MS 是一種小型設(shè)備,易于安裝,適用于散裝化學(xué)品配送、使用點(diǎn)化學(xué)品調(diào)配、制程中濃度變化監(jiān)測。

維薩拉 K-PATENTS? PR-23-MS 可幫助您實(shí)現(xiàn):

  • 防止錯誤的化學(xué)品進(jìn)入制造流程。

  • 優(yōu)化蝕刻工藝并延長蝕刻液(例如加熱的 KOH)的使用時(shí)間。

  • 通常可使晶圓的產(chǎn)量提高 5%,并減少 FEOL 和 BEOL 清洗工藝中清洗化學(xué)品的消耗(例如 SC-1 或 EKC-265)。

  • 對 CMP 漿料進(jìn)行嚴(yán)格控制,并提高拋光的均勻性。

關(guān)鍵特性:

  • 標(biāo)稱準(zhǔn)確度為 0.1%(重量百分比),例如,鹽酸。對于多組分溶液,測量信號則用為各組分總和。

  • 獨(dú)特光學(xué)核心構(gòu)造光學(xué)器件。 

  • 雙探頭連接:一個變送器可同時(shí)連接和管理兩個傳感器,第二個傳感器可在之后輕松添加。

  • 過程溫度范圍:-20°C – 150°C (-4°F – 300°F)

  • 內(nèi)置 Pt1000,快速溫度測量及自動溫度補(bǔ)償功。

  • ATEX 防爆認(rèn)證,Zone 2,EX II 3 G EEx nA II T4。

  • FM 防爆認(rèn)證,Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T6. CSA certified for Class I, Div. 2.

  • CSA 防爆認(rèn)證,Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T4.

  • cCSAus 電氣安全認(rèn)證,傳感器:I 類,污染等級為 3 級;變送器:I 類,污染等級為 2 級;安裝類別為 II 類。


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