適用于半導(dǎo)體液態(tài)化學(xué)品測量

該折光儀外形緊湊，流通池采用改良超純 PTFE 而成，適用于半導(dǎo)體液態(tài)化學(xué)品測量。可通過 ? 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或擴(kuò)口 Flare 連接。

維薩拉 K-PATENTS? 半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-23-MS 內(nèi)置的流通池由改良超純 PTFE 制成，旨在防止任何金屬和易腐蝕部件與工藝過程中的液體接觸。與液體接觸的所有部件均為改良超純 PTFE 和藍(lán)寶石棱鏡。

PR-23-MS 直接通過柱形或喇叭形配件串接進(jìn)行安裝。緊緊湊型設(shè)計(jì)方便集成到機(jī)臺或機(jī)柜里，而無需占用過多有限空間。

該折光儀通過光學(xué)原理測量溶液折射率來獲得溶液濃度。正是憑借這一原理，同一臺儀器可用于各種溶液測量。

PR-23-MS 可提供連續(xù)的 4-20 mA 或數(shù)字測量信號，并在化學(xué)物質(zhì)的濃度超出規(guī)定的范圍時(shí)向控制系統(tǒng)提供即時(shí)反饋。PR-23-MS 是一種小型設(shè)備，易于安裝，適用于散裝化學(xué)品配送、使用點(diǎn)化學(xué)品調(diào)配、制程中濃度變化監(jiān)測。

維薩拉 K-PATENTS? PR-23-MS 可幫助您實(shí)現(xiàn)：

• 防止錯誤的化學(xué)品進(jìn)入制造流程。

• 優(yōu)化蝕刻工藝并延長蝕刻液（例如加熱的 KOH）的使用時(shí)間。

• 通常可使晶圓的產(chǎn)量提高 5%，并減少 FEOL 和 BEOL 清洗工藝中清洗化學(xué)品的消耗（例如 SC-1 或 EKC-265）。

• 對 CMP 漿料進(jìn)行嚴(yán)格控制，并提高拋光的均勻性。

關(guān)鍵特性：

• 標(biāo)稱準(zhǔn)確度為 0.1%（重量百分比），例如，鹽酸。對于多組分溶液，測量信號則用為各組分總和。

• 獨(dú)特光學(xué)核心構(gòu)造光學(xué)器件。 

• 雙探頭連接：一個變送器可同時(shí)連接和管理兩個傳感器，第二個傳感器可在之后輕松添加。

• 過程溫度范圍：-20°C – 150°C (-4°F – 300°F)

• 內(nèi)置 Pt1000，快速溫度測量及自動溫度補(bǔ)償功。

• ATEX 防爆認(rèn)證，Zone 2，EX II 3 G EEx nA II T4。

• FM 防爆認(rèn)證，Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T6. CSA certified for Class I, Div. 2.

• CSA 防爆認(rèn)證，Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T4.

• cCSAus 電氣安全認(rèn)證，傳感器：I 類，污染等級為 3 級；變送器：I 類，污染等級為 2 級；安裝類別為 II 類。